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掃描探針顯微鏡的工作模式有哪些?

更新時間:2025-12-01點擊次數:43
掃描探針顯微鏡(SPM)是包含掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)等多個分支的顯微鏡家族,不同分支因核心檢測原理不同,工作模式存在顯著差異,其中STM和AFM的應用最為廣泛,具體工作模式如下:
 
掃描隧道顯微鏡(STM)
 
STM依靠探針與樣品間的隧道電流成像,核心有兩種基礎工作模式,適配不同樣品表面情況:
 
恒流模式:這是STM很常用的模式。掃描時反饋回路會控制隧道電流始終保持恒定,意味著探針與樣品表面的相對距離不變。探針在XY平面掃描過程中,會通過Z軸方向的上下移動來適配樣品表面起伏,Z軸的運動軌跡就對應著樣品的表面形貌,適合大多數表面起伏的樣品成像。
 
恒高模式:掃描時探針的高度保持固定,不開啟反饋調節。此時樣品表面的起伏會改變探針與樣品的間距,進而導致隧道電流發生變化,通過記錄隧道電流的波動就能反映樣品形貌。該模式掃描速度快,可觀察樣品表面動態過程,但僅適用于表面起伏極小的樣品,否則易出現探針與樣品碰撞損壞的情況。
 
原子力顯微鏡(AFM)
 
AFM通過檢測探針與樣品間的微弱作用力成像,工作模式更豐富,既涵蓋基礎形貌成像模式,也有適配特殊檢測需求的拓展模式:
 
基礎形貌成像模式
 
接觸模式:探針與樣品表面持續接觸,依靠原子間的排斥力工作。反饋系統會維持懸臂梁彎曲度恒定(即作用力不變),探針Z軸方向的運動記錄樣品形貌。該模式成像分辨率高,但探針在樣品表面滑動,可能損傷軟樣品(如生物大分子)。
 
非接觸模式:探針不接觸樣品,懸臂梁被驅動在共振頻率略高的位置振動。當探針靠近樣品時,長程范德華吸引力會使懸臂梁振幅減小,系統維持振幅恒定并掃描成像。此模式對樣品損傷小,適合脆弱樣品,但分辨率略低于接觸模式,操作難度較高。
 
間歇接觸模式(輕敲模式):結合了接觸模式和非接觸模式的優點。懸臂梁在共振頻率附近振動,探針在每個振動周期中短暫“敲擊”樣品表面后離開。通過維持振幅恒定成像,既保證了分辨率,又避免了持續接觸對樣品的損傷,常用于生物大分子、聚合物等軟樣品檢測。
 
特殊功能拓展模式
 
橫向力顯微鏡(LFM):基于接觸模式,通過檢測懸臂梁的扭轉程度來反映探針與樣品間的摩擦力分布,可用于分析樣品表面的摩擦特性。
 
靜電力顯微鏡(EFM):給探針施加電荷,在非接觸狀態下探測樣品表面的電荷分布,適用于研究材料的電學特性。
 
磁力顯微鏡(MFM):探針覆蓋永磁材料,可檢測樣品不同磁疇的磁力分布,常用于磁性材料的微觀磁結構分析。
 
相位成像模式:通過記錄懸臂梁振動相位的變化成像,相位變化與樣品的硬度、粘性等物理性質相關,能區分樣品表面不同組分的材質差異。
 
扭轉共振模式(TR模式)等智能模式:多為現代AFM的優化模式,可提升成像穩定性和效率,適配復雜樣品的高精度檢測。
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