產品參數：
| 探針臺臺體 | •主體材質采用進口航空鋁，表面噴砂氧化，具備優質的機械性能 •整機外形尺寸：約580mmL*480mmW*620mmH，重量大約50kg •U型平臺鍍鎳設計，增大了針座的加載空間，且提高了針座平臺和針座之間的吸附力 •Chuck X/Y軸絲桿采用雙螺母防回程差設計,帶防塵蓋以保護絲桿持久順暢。 •Chuck行程：4英寸*4英寸，精度10um •Chuck大?。?英寸，中心吸附孔和多圈吸附環固定樣品，均獨立控制 •Chuck可以上下快速升降5mm，便于樣品快速分離探針。chuck微調升降，行程6mm，精度1微米，方便使用探針卡時扎針。（大波輪+搖桿設計） •Chuck鍍金，具備更小的接觸電阻 •卡盤的旋轉角度：360度，調節精度0.1°（帶刻度尺和角度鎖死裝置） •卡盤電學獨立懸空，帶兩個4mm香蕉頭插口，成180度對角設計，可以作為背電極方便測試垂直器件 •高剛性龍門架結構，便于顯微鏡的移動，行程2英寸*2英寸，精度1um，帶顯示器支架 •顯微鏡氣動升降50.8mm，便于更換物鏡(需要壓縮空氣)/顯微鏡快速傾仰，便于更換物鏡，帶重力自動鎖定功能（匹配金相顯微鏡時使用） •帶接地端子，可有效防止靜電對測試的影響 •臺體底板帶高性能防震海綿，可一定程度減小外界震動對測試的干擾 •探針臺與顯示器一體化設計，大大減小了設備的占地空間 •整機人體工程學設計，操作簡單，使用便捷 |
| 顯微鏡 | •Motic高解析度長工作距離顯微鏡，可加載激光 •變焦 1X~2X •目鏡: 10X，•雙目距調節范圍52-75mm •物鏡：5X (WD：34mm，NA:0.14),10 X (WD ：33.5mm，NA:0.28),20 X (WD ：20mm，NA:0.42) •顯微鏡光學放大倍數=目鏡*物鏡*變焦倍率，倍率范圍：50X~400X（更換其它物鏡可使倍率范圍更廣） •CCD接口,CCD接口形式為C Mount形式 •手動物鏡切換鼻輪（四孔） •顯微鏡調焦機構：Z 軸移動行程 50.8 mm，同軸旋鈕調節，細調精度優于1微米 •150W獨立照明光源，亮度可以無極調節。 •防靜電功能：架臺，變倍鏡筒，10X目鏡，輔助物鏡等都具有防靜電功能，這個功能在觀察需要防靜電的樣品時（如半導體芯片等）很有用（若使用此功能時，可通過架臺后面的地線插口將顯微鏡接地） •密封功能：變倍鏡筒，10X目鏡都具有密封功能，當顯微鏡在油汽，水汽等濕度較高的環境中仍能較方便的使用 •創建性人機學設計，更加保證操作者長時間舒適操作具有高清晰度，大視場，長工作距離等特點，廣泛應用與教學示范，生物工程，IT產業檢測等領域 |
| CCD成像系統 | •雙輸出，可同時支持HDMI接口和USB接口 •200萬像素高清CCD成像系統 •內置芯片：Sony IMX385(C) 1/2"(7.2x4.05) •分辨率達：1920*1080 •FPS/分辨率：60@1920*1080(HDMI) •FPS/分辨率：50@1920*1080(USB) •可拍照，錄像，測量等 •帶HDMI視頻線纜，帶顯示器 •三孔電源線，可有效接地，減小靜電對測試的影響 |
| 探針座 | •主體材質采用進口航空鋁，表面噴砂氧化，具備優質的機械性能 •采用進口交叉滾珠導軌，高剛性結構，彈簧消隙 •采用進口高分辨率微分頭驅動，100 牙/英寸 •X/Y/Z軸行程：12.5mm，精度：0.7μm •底部可調磁性底座，磁性吸附可達10Kg以上，保證扎針的穩定性 •帶接地端子，可有效防止靜電對測試的影響 •帶線夾固定塊，便于固定三同軸線纜，防止抖動 •可選配升級真空吸附 |
| 探針座 | •主體材質采用進口航空鋁，表面噴砂氧化，具備優質的機械性能 •采用進口交叉滾珠導軌，高剛性結構，彈簧消隙 •采用進口高分辨率微分頭驅動，100 牙/英寸 •X/Y/Z軸行程：12.5mm，精度：0.7μm •底部可調磁性底座，磁性吸附可達10Kg以上，保證扎針的穩定性 •帶接地端子，可有效防止靜電對測試的影響 •帶線夾固定塊，便于固定三同軸線纜，防止抖動 •可選配升級真空吸附 |
| 三軸接口管狀夾具 | • 三軸接口管狀夾具 •配合屏蔽箱漏電精度能達 100FA •三軸設計，帶Force，Guard和Ground •采用Trompeter 高屏蔽三同軸電纜 TRC-50-1 •線長2.0米，帶叁軸公接口 •帶4mm傾仰機構，調節點測角度：0-30° |
| 探針 | •2微米針尖直徑的探針，5PC/BOX |
| 真空泵 | •靜音無油真空泵 7 升/分鐘 •到達真空度:-33.3kPa（ -250mmHg） •用于吸附樣品 |
| 運保費 | 運費+保險 |
| 安裝調試 | 原廠售后工程師現場安裝調試與培訓，質保18個月。 |
產品結構：
